☭ 真空检漏即是检查真空体系的漏气部位及其巨细的进程漏气也叫实漏,是气体经过体系上的漏孔或空隙从高压侧流到低压侧的景象虚漏,是相对实漏而言的一种物理景象。
☭ 这种景象是因为资料放气、解吸、凝聚气体的再蒸腾、气体经过器壁的浸透及体系内死空间中气体的流出等因素导致真空体系中气体压力增加的景象。
☭ 气密性是表征真空体系器壁避免气体浸透的能,它包括经过漏孔(或空隙)的漏气和原料的渗气。
☭ 最小可检漏率是指某种检漏办法能够检查出的漏率的最小值。
☭ 最好灵敏度是指检漏仪器或检漏办法在最好条件下所能检查出的最小漏率关于检漏仪器来讲,最好灵敏度又称作仪器灵敏度。
☭ 检漏灵敏度是指在详细条件下,某种检漏办法所能检查出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有用灵敏度。
☭ 反响时刻,即从检漏办法开端施行(如开端喷吹示漏气体)到指示办法(如外表)做出反响的时刻。
☭ 消除时刻,即从检漏办法中止(如中止喷吹且开端抽出示漏气体)到指示办法的指示不见的时刻。
☭ 漏率,即单位时刻内流过漏孔(包括空隙)的气体量漏孔、漏率及其单位真空技能中所指的漏孔,因为尺度细小、形状杂乱、形式多样(如图1所示),无法用几许尺度表明其巨细。
☭ 所以通常用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表明漏孔的巨细用漏率表明漏孔巨细时,假如不加特别阐明,则是指在漏孔进口压力为1.01×105Pa,出口压力低于1.33×103Pa,温度为296士3K的
规范条件下,单位时刻内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。
☭ 漏率的单位是帕斯卡×立方米/秒,记为Pam3/s。为了便利,有时用帕斯卡×升/秒,记为PaL/s。
最大容许漏率:
☭ 真空体系漏气是肯定的,不漏气是相对的在真空检漏技能中所指的漏是和最大容许漏率的概念联络在一起的。
☭ 关于动态真空体系,只需其平衡压力能够到达所请求的真空度,这时即便存在着漏孔,也能够以为该体系的漏率是容许的,该情况下体系的漏率称为最大容许漏率。
☭ 动态真空体系的最大容许漏率qLmax应满意qLmax1/10PwS(1)式中Pw----体系工作压力S----体系的有用抽速。
☭ 关于静态真空体系,请求在必定时刻内,其压力维持在容许的压力以下,这时即便存在着漏孔,相同叮以以为该体系的漏率是容许的,该情况下体系的漏率称为最大容许漏率。
☭ 假如请求在时刻t内,容积为V的体系的压力由p升至pt,则其最大容许漏率qLmax应满意qLmax(pt-p)V/t 。
漏孔的气流特性:
☭ 气体流经漏孔的进程是很杂乱的,也许包括有粘滞流、过渡流及分子流三种活动状况。
☭ 主导活动状况与漏孔的几许尺度、气体的品种、漏孔两头的压力及环境温度有关设环境温度T=296K,进口压力p2=1.01×105Pa,出口压力p1《p2,漏孔长L,直径d的均匀圆截面导管型漏孔,
其对空气的漏率及可视活动状况。
检漏办法的分类:
☭ 检漏办法许多,依据被检件所在的状况可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。
☭ 充压检漏法:在被检件内部充入必定压力的示漏物质,假如被检件上有漏孔,示漏物质便从漏孔漏出,用必定的办法或仪器在被检件外部检查出从漏孔漏出的示漏物质,然后断定漏孔的存在、方
位及漏率的巨细,此即充压检漏法。
☭ 真空检漏法:被检件和检漏器的灵敏元件处于真空状况,在被检件的外部施加示漏物质,假如有漏孔,示漏物质就会经过漏孔进入被检件和灵敏元件的空间。
☭ 由灵敏元件检查出示漏物质,然后能够断定漏孔的存在、方位利漏率的巨细,这即是真空检漏法。
☭ 其它检漏法:被检件既不充压也不抽真空,或其外部受压等办法归入其它检漏法背压法即是其间首要办法之一。
☭ 所谓背压检漏法是使用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件,然后在真空状况下使示漏气体再从被检件中漏出.以某种办法(或检漏仪)检查漏出的示漏气体,断定被检件的总漏率的办法。